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制氮機(jī)原理及其在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

來源:蘇州西斯   時(shí)間:2023-05-18   

文章摘要

導(dǎo)讀:制氮機(jī)是一種可以將空氣中的氧氣和氮?dú)夥蛛x的設(shè)備。制氮機(jī)通過吸附劑將氧氣和氮?dú)夥蛛x,從而獲得純度較高的氮?dú)狻T诎雽?dǎo)體行業(yè)中...

  制氮機(jī)是一種可以將空氣中的氧氣和氮?dú)夥蛛x的設(shè)備。制氮機(jī)通過吸附劑將氧氣和氮?dú)夥蛛x,從而獲得純度較高的氮?dú)狻?br>

  在半導(dǎo)體行業(yè)中,高純度的氮?dú)馐欠浅V匾牟牧稀5獨(dú)鈴V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)中的氮化物生長、氧化物薄膜制備、電子束熱蒸發(fā)等工藝中。高純度的氮?dú)饪梢员WC半導(dǎo)體產(chǎn)品的品質(zhì)和穩(wěn)定性,同時(shí)也可以提高生產(chǎn)效率和降低成本。

  制氮機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用通常需要滿足以下要求:

  高純度:半導(dǎo)體行業(yè)需要使用高純度的氮?dú)猓频獧C(jī)需要能夠獲得純度達(dá)到99.999%以上的氮?dú)狻?/p>

  穩(wěn)定性:半導(dǎo)體制造工藝對氮?dú)饧兌群土髁康囊蠓浅8撸频獧C(jī)需要能夠穩(wěn)定地輸出高純度的氮?dú)狻?/p>

  安全性:制氮機(jī)需要具備安全可靠的性能,能夠避免發(fā)生爆炸、泄漏等安全事故。

制氮機(jī)

  在半導(dǎo)體行業(yè)中,通常采用壓縮空氣和分子篩吸附的制氮技術(shù),制氮機(jī)可以根據(jù)實(shí)際需求配置多臺制氮設(shè)備,并與氣體輸送系統(tǒng)和氣體凈化系統(tǒng)相配合,以滿足高純度、穩(wěn)定性和安全性的要求。

  總之,制氮機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用非常廣泛,可以提供高純度、穩(wěn)定性和安全性的氮?dú)夤?yīng),為半導(dǎo)體制造工藝提供了重要的保障。

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